| 环形无源万向微机电惯性开关 |
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| 引用本文： | 刘双杰,郝永平.环形无源万向微机电惯性开关[J].中国惯性技术学报,2013(2). |
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| 作者姓名： | 刘双杰 郝永平 |
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| 作者单位： | 沈阳理工大学 装备工程学院,沈阳 110159 |
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| 摘 要： | 针对传统惯性开关阈值散布大、万向性差等缺点,设计了一种环形无源万向微机电惯性开关.环形的可动质量框作为可动电极,由内部的四根折叠悬臂梁支撑,和外部的环状固定电极有一定间隙,构成 xy 平面内的万向开关.对设计开关进行有限元动态接触仿真,结果表明开关在1000 g 加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.142 ms 和5ms,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果.研究悬臂梁线宽与开关阈值加速度的关系,结果表示悬臂梁线宽的微小变化会引起阈值加速度的较大变化.利用冲击台试验对封装后的开关进行阈值试验,试验结果表明实际阈值分布在900 g ~1300 g 范围内,80%的开关阈值比设计值大.用微电镜对悬臂梁线宽进行静态测量,悬臂梁线宽加工误差大多分布于0~+2mm,加工误差直接导致开关的阈值加速度增加,设计阶段应充分考虑加工误差对阈值加速度的影响.
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| 关 键 词： | MEMS 惯性开关 万向 环形 |
Annular passive universal MEMS inertial switch |
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| Keywords: | MEMS inertial switch universal annular |
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