| 硅一体化薄膜微电极电化学传感器件的稳定性研究 |
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| 引用本文： | 周仲柏,柳文军,吴青海,刘炯权. 硅一体化薄膜微电极电化学传感器件的稳定性研究[J]. 武汉大学学报(理学版), 1997, 0(2) |
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| 作者姓名： | 周仲柏 柳文军 吴青海 刘炯权 |
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| 作者单位： | 武汉大学化学系，美国凯斯西储大学电子设计中心和爱迪生传感器技术中心 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,中国科学院传感技术国家重点实验室开放基金 |
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| 摘 要： | 研究讨论了硅一体化微机械结构型薄膜微电极电化学传感器件的稳定性及其相关的电化学问题．以电流型ＣＯ２薄膜微电极传感器件为例，通过改进器件构型设计，发展稳定的Ａｇ＋／Ａｇ参比电极取代常规的Ａｇ／ＡｇＣｌ电极，及在硅微机械加工工艺上作相应的变动，使器件中的电化学串音减至最小并得到有效的控制，器件长期稳定性和使用寿命有了大的改善
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| 关 键 词： | 微电化学传感器件，硅微机械结构，薄膜微电极，长期稳定性，电化学串音 |
A STUDY ON STABILITY OF SILICON INTEGRATED THIN FILM MICROELECTRODE BASED ELECTROCHEMICAL SENSOR DEVICES |
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| Zhou Zhongbai,Liu Wenjun. A STUDY ON STABILITY OF SILICON INTEGRATED THIN FILM MICROELECTRODE BASED ELECTROCHEMICAL SENSOR DEVICES[J]. JOurnal of Wuhan University:Natural Science Edition, 1997, 0(2) |
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| Authors: | Zhou Zhongbai Liu Wenjun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electrochemical microsensor devices silicon micromechanical structures thin film microelectrode long term stability electrochemical crosstalk |
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