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| RIE终测系统的抗高频干扰实验初探 | |
| 引用本文： | 邱延辉,杨松林,魏唯.RIE终测系统的抗高频干扰实验初探[J].微细加工技术,1987(Z1). |
| 作者姓名： | 邱延辉 杨松林 魏唯 |
| 作者单位： | 长沙半导体工艺设备研究所 (邱延辉，杨松林)，长沙半导体工艺设备研究所(魏唯) |
| 摘 要： | 本文描述了RIE终点检测系统对高频辐射干扰的抑制,提出几种解决高频干扰的方法 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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