|
|||||
|
|
| 聚焦离子束系统的研制 | |
| 引用本文： | 汪健如,应根裕,杜秉初,汪荣军. 聚焦离子束系统的研制[J]. 清华大学学报(自然科学版), 1997, 0(10) |
| 作者姓名： | 汪健如 应根裕 杜秉初 汪荣军 |
| 作者单位： | 清华大学电子工程系 |
| 基金项目： | 国家“八六三”高技术项目 |
| 摘 要： | 研制了一台具有二级透镜的聚焦离子束（ＦＩＢ）装置。它利用液态金属离子源：镓和金硅合金。离子束束斑在０．３μｍ左右，最小束斑达０．２１μｍ。能稳定、长时间地运行。文中论述了该系统的总体结构，对聚焦离子束系统的核心部件离子光学系统及辅助系统的参数选择、以及它们的结构特点作了详细的讨论，最后给出了系统的实验结果。并用离子束进行刻蚀工艺的研究，给出了ＦＩＢ在镀了一层金膜的硅样品进行刻蚀的电子扫描显微镜照的图象。 |
| 关 键 词： | 聚焦离子束（FIB）；离子光学系统；液态金属离子源；刻蚀 |
Research of the focused ion beam system |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |