拉晶条件对单晶中氧含量及其分布的影响

本文主要讨论了控制单晶中氧含量的重要性，分析了拉晶条件与硅单晶中氧含量分布情况之间的关系，实验结果得出：改变拉单晶的转速、坩锅的转速对单晶中氧含量的多少及分布有较大的影响，而拉晶的速度对之影响较小。