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| CFZ单晶的生产及特点 | |
| 引用本文： | 沈浩平,纪秀锋.CFZ单晶的生产及特点[J].半导体杂志,1998,23(3):24-25. |
| 作者姓名： | 沈浩平 纪秀锋 |
| 作者单位： | 天津市半导体材料厂(沈浩平，李翔，昝兴利，汪雨田)，电子部第四十六研究所(纪秀锋，林键) |
| 摘 要： | 本文介绍了一种全新的硅单晶生长方法，通过大量实验对ＣＦＺ法生产技术和特点作了描述，并对ＣＦＺ的应用作了讨论。 |
| 关 键 词： | 半导体 硅单晶 掺杂 CFZ法 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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