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| 硅薄膜的短波红外光学特性和1.30μm带通滤光片 | |
| 引用本文： | 段微波,庄秋慧,李大琪,陈刚,余德明,刘定权.硅薄膜的短波红外光学特性和1.30μm带通滤光片[J].光学学报,2012,32(10):1031001-288. |
| 作者姓名： | 段微波 庄秋慧 李大琪 陈刚 余德明 刘定权 |
| 作者单位： | 段微波:中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083 庄秋慧:重庆理工大学电子信息与自动化学院, 重庆 400050 李大琪:中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083 陈刚:中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083 余德明:中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083 刘定权:中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083 |
| 摘 要： | 在短波红外区域(1～3μm),硅薄膜材料因其具有折射率高、透明性好、膜层应力易匹配等诸多优点而得到广泛应用。基于改进后的Sellmeier模型拟合出了制备的硅薄膜的短波红外光学特性,以此为基础,选用硅和二氧化硅两种材料,设计并制备出中心波长在1.30μm,相对带宽2.46%的带通滤光片。利用了硅薄膜在波长小于1.0μm波段的吸收特性较好地扩展了带外截止范围。测量结果表明,具有2个谐振腔的带通滤光片峰值透射率达到85.8%,半功率带宽控制在约32nm,带外截止范围覆盖了波长小于1.75μm的光谱区域。 |
| 关 键 词： | 薄膜 光学特性 带通滤光片 短波红外 |
| 收稿时间： | 2012/3/30 |
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