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为高品质的IC制造 保驾护航——访FSI公司董事长兼首席执行官Dona1d Mitchell先生
引用本文:孙小雨 Peter.为高品质的IC制造 保驾护航——访FSI公司董事长兼首席执行官Dona1d Mitchell先生[J].半导体技术,2004,29(4):C012-C014.
作者姓名:孙小雨  Peter
摘    要:SEMICON China 2004期间,国际知名晶圆清洗设备制造厂商FSI公司适时地连续在上海和台湾召开了“FSI表面处理技术研讨会”与“针对65纳米制程的尖端清洗技术”研讨会,与客户共同分享FSI的成果及听取客户的意见,以达到共赢之目的。借此机会,我们采访了来自美国的FSI公司董事长兼首席执行官Donald Micchell先生,请他介绍FSI公司及所取得的成果。

关 键 词:FSI公司  人物访谈  表面处理  清洗  发展战略
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