| 光谱型椭偏仪对各向异性液晶层的测量 |
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| 引用本文： | 穆全全,刘永军,胡立发,李大禹,曹召良,宣丽. 光谱型椭偏仪对各向异性液晶层的测量[J]. 物理学报, 2006, 55(3): 1055-1060 |
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| 作者姓名： | 穆全全 刘永军 胡立发 李大禹 曹召良 宣丽 |
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| 作者单位： | (1)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春 130033; (2)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春 130033;中国科学院研究生院,北京 100049 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目;吉林省科技厅科研项目 |
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| 摘 要： | 探讨了利用普通光谱型椭偏仪对各向异性液晶层进行综合性测量的可行性. 并利用法国Jobin Yvon公司的UVISEL SPME(Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer)光谱型椭偏仪测量了光学各向异性液晶层的折射率no和ne及液晶层厚d，进一步利用椭偏仪在透射方式下测量了平行排列液晶层的光延迟特性Δnd，二者取得了很好的一致性，说明利用光谱型椭偏仪可以实现对光学单轴性液晶层及其他材料的测量，测厚精度为纳米量级. 关键词：光谱型椭偏仪各向异性折射率相位延迟
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| 关 键 词： | 光谱型椭偏仪 各向异性 折射率 相位延迟 |
| 收稿时间： | 2005-03-31 |
| 修稿时间： | 2005-08-01 |
Determination of anisotropic liquid crystal layer parameters by spectroscopic ellipsometer |
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| Mu Quan-Quan,Liu Yong-Jun,Hu Li-Fa,Li Da-Yu,Cao Zhao-Liang,Xuan Li. Determination of anisotropic liquid crystal layer parameters by spectroscopic ellipsometer[J]. Acta Physica Sinica, 2006, 55(3): 1055-1060 |
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| Authors: | Mu Quan-Quan Liu Yong-Jun Hu Li-Fa Li Da-Yu Cao Zhao-Liang Xuan Li |
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| Affiliation: | 1. State key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences , Changchun 130033, China; 2. Graduate School of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China |
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| Abstract: | Spectroscopic ellipsometry is widely used in measuring the refractive index and thickness of optical isotropic thin layers. A simple method using spectroscopic ellipsometry to measure uniaxial liquid crystal layer is introduced. A UVISEL spectroscopic phase modulated ellipsometer is used to measure the ordinary refractive index, extraordinary refractive index and thickness of the liquid crystal layer in a parallel-aligned liquid crystal cell. The phase retardation And is measured in transmission mode. The results show that the spectroscopic ellipsometry can be used to measure the anisotropic mulfilayer liquid crystal cell with high precision. |
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| Keywords: | spectroscopic ellipsometry anisotropy refractive index phase retardation |
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