| 红外双波段激光滤光膜的研制 |
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| 引用本文： | 宫大为,付秀华,耿似玉,杨道奇. 红外双波段激光滤光膜的研制[J]. 中国光学与应用光学文摘, 2011, 0(3) |
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| 作者姓名： | 宫大为 付秀华 耿似玉 杨道奇 |
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| 作者单位： | 长春理工大学光电工程学院;新美亚科技(深圳)有限公司; |
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| 摘 要： | 为了满足红外军用仪器的特殊要求,根据薄膜理论进行了红外双波段滤光膜的膜系设计;采用电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整,在多光谱ZnS基底上镀制了1 064 nm高反、3～5μm高透的红外双波段滤光膜。利用低能离子轰击,使膜层与基底间的应力明显减小;使用BGS 6341薄膜应力测试仪,采用渐变梯度法,测得其压应力由122 MPa降到51 MPa。另外,通过低能离子轰击和真空退火处理,提高了膜层的抗损伤阈值。结果显示所镀膜层满足红外军用仪器的使用要求。
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| 关 键 词： | 光学薄膜 激光滤光膜 离子轰击 真空退火 |
Design and manufacture of infrared double waveband laser filter films |
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| GONG Da-wei,FU Xiu-hua,GENG Si-yu,YANG Dao-qi Co.,Ltd.,Shenzhen ,China). Design and manufacture of infrared double waveband laser filter films[J]. Chinese Optics and Applied Optics Abstracts, 2011, 0(3) |
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| Authors: | GONG Da-wei FU Xiu-hua GENG Si-yu YANG Dao-qi Co. Ltd. Shenzhen China) |
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| Affiliation: | GONG Da-wei1,FU Xiu-hua1,GENG Si-yu2,YANG Dao-qi1 (1.Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China,2.Sanmina-SCI Optical Technology(Shenzhen) Co.,Ltd.,Shenzhen 518038,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical thin film laser filter membrane ion bombardment vacuum annealing |
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