ECR源Cl2等离子体蚀刻Si引起的损伤特性期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

按检索

ECR源Cl2等离子体蚀刻Si引起的损伤特性

引用本文：	常乐.ECR源Cl2等离子体蚀刻Si引起的损伤特性[J].等离子体应用技术快报,1995(4):16-17.

作者姓名：	常乐

摘要：
关键词：	氯电子自旋共振等离子体蚀刻硅集成电路
本文献已被维普等数据库收录！