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等离子体源离子植入在中国的发展

引用本文：	袁晓源.等离子体源离子植入在中国的发展[J].等离子体应用技术快报,1995(8):1-3.

作者姓名：	袁晓源

摘要：
关键词：	等离子体源离子植入表面改性
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