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SF6等离子体对碳材料的表面改性

引用本文：	晓青.SF6等离子体对碳材料的表面改性[J].等离子体应用技术快报,1995(6):6-7.

作者姓名：	晓青

摘要：
关键词：	离子蚀刻碳材料玻璃状碳等离子体改性
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