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螺旋波等离子体蚀刻装置研制

引用本文：	宏民.螺旋波等离子体蚀刻装置研制[J].等离子体应用技术快报,1995(3):8-10.

作者姓名：	宏民

摘要：
关键词：	集成电路等离子体蚀刻螺旋波
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