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余应力对PECVDSiC涂层强度,附着力和耐磨性的影响

引用本文：	康卫红.余应力对PECVDSiC涂层强度,附着力和耐磨性的影响[J].等离子体应用技术快报,1995(9):19-20.

作者姓名：	康卫红

摘要：
关键词：	PECVD 碳化硅涂层耐磨性附着力
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