| 测量聚合物薄膜厚度的一种简便方法 |
| |
| 引用本文： | 任诠 王志刚. 测量聚合物薄膜厚度的一种简便方法[J]. 光电子．激光, 1998, 9(1): 35-36 |
| |
| 作者姓名： | 任诠 王志刚 |
| |
| 作者单位： | 山东大学光学系，山东大学晶体材料研究所，山东大学实验中心 |
| |
| 摘 要： | 本文介绍了用准波导耦合ｍ线技术测量聚合物薄膜厚度的方法。测量结果表明，薄膜样品厚度的误差为３．６２×１０＾－２μｍ。并对测量精度作了分析和讨论。
|
| 关 键 词： | 聚合物薄膜 准波导 厚度测量 薄膜 |
Simple Method for Determination of the Thickness of Polymer Film |
| |
| Ren Quan Wang Zhigang Liu Xuemin Guo Shiyi Mu Xiaodong Xu Dong Shang Shuxia. Simple Method for Determination of the Thickness of Polymer Film[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 1998, 9(1): 35-36 |
| |
| Authors: | Ren Quan Wang Zhigang Liu Xuemin Guo Shiyi Mu Xiaodong Xu Dong Shang Shuxia |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | polymer thin film quasi waveguide thickness measurement |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《光电子．激光》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《光电子．激光》下载全文 |
