| 腐蚀法测量研磨蓝宝石亚表面损伤的实验研究 |
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| 引用本文： | 马睿,王建彬,周超群,童勇强,徐义亮.腐蚀法测量研磨蓝宝石亚表面损伤的实验研究[J].人工晶体学报,2019,48(12):2216-2221. |
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| 作者姓名： | 马睿 王建彬 周超群 童勇强 徐义亮 |
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| 作者单位： | 安徽工程大学机械与汽车工程学院,芜湖,241000;芜湖恒信汽车内饰制造有限公司,芜湖,241009 |
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| 基金项目： | 安徽省自然科学基金(1708085QE127);安徽省高校优秀青年人才支持计划重点项目(gxyqZD2019051);校国家基金预研项目(2017yyzr06);安徽工程大学2018年度中青年拔尖人才培养计划;南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金;安徽工程大学研究生教育创新基金 |
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| 摘 要： | 化学腐蚀法是一种简单有效的蓝宝石亚表面损伤深度检测方法.利用高温熔融KOH对蓝宝石工件的化学腐蚀作用,开展W40固结磨料研磨后蓝宝石工件的化学腐蚀实验,设计耐高温陶瓷夹具固定腐蚀液中工件位置,并用称重法测算腐蚀速率和腐蚀厚度,揭示亚表面损伤的形成机理.结果表明:采用陶瓷夹具固定工件可使腐蚀面积的均匀性大大提高,平均腐蚀速率提高9.21;左右.蓝宝石工件的腐蚀速率和腐蚀厚度逐渐减小,最后趋于稳定,其亚表面损伤深度约为8.41 μm.天平称重法可有效提高腐蚀速率和腐蚀厚度的测算精度,为蓝宝石亚表面损伤的有效测量提供帮助.
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| 关 键 词： | 化学腐蚀法 亚表面损伤 蓝宝石 固结磨料 |
Experimental Study on the Measurement of Subsurface Damage of Ground Sapphire by Corrosion Method |
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| MA Rui,WANG Jian-bin,ZHOU Chao-qun,TONG Yong-qiang,XU Yi-liang.Experimental Study on the Measurement of Subsurface Damage of Ground Sapphire by Corrosion Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2019,48(12):2216-2221. |
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| Authors: | MA Rui WANG Jian-bin ZHOU Chao-qun TONG Yong-qiang XU Yi-liang |
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