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| 采用RF溅射法研制成功高温超导薄膜 | |
| 引用本文： | 郑振兴.采用RF溅射法研制成功高温超导薄膜[J].激光与红外,1989(1). |
| 作者姓名： | 郑振兴 |
| 摘 要： | 华中理工大学光学工程系采用RF溅射法成功地制出高温超导薄膜。这种薄膜的衬底力氧化锆,靶材为Y-Ba-Cu-O,薄膜厚度为1μm左右,转变温度为 |
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