| 溶胶-凝胶法制备ZrO2/SiO2双层减反硬膜 |
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| 引用本文： | 李海元,唐永兴,胡丽丽.溶胶-凝胶法制备ZrO2/SiO2双层减反硬膜[J].光学学报,2009,29(2). |
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| 作者姓名： | 李海元 唐永兴 胡丽丽 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,高功率激光物理联合实验室,上海,201800 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 以锆酸丙酯Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料, 用溶胶-凝胶(sol-gel)提拉法涂膜, 制备高透过的λ/ 4～λ/ 4型ZrO2/SiO2双层减反膜.该减反膜的表面均匀, 均方根(RMS)粗糙度为1.038 nm, 平均粗糙度(RA)为0.812 nm.制备的双层减反膜具有很好的减反效果, 在石英玻璃基片二面涂膜, 在激光三倍频波长351 nm处透射比达到99.41%, 比未涂膜石英玻璃基片的透射比提高了6.14%;在基频波长1053 nm处透射比达到99.63%, 比未涂膜K9光学玻璃基片的透射比提高了7.67%.膜层具有较高的激光损伤阈值, 在激光波长为1053 nm, 脉冲宽度为1 ns时, 薄膜的激光损伤阈值达到16.8 J/cm2.膜层具有良好的耐擦除性能.
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| 关 键 词： | 薄膜光学 溶胶-凝胶 双层减反 耐擦除 |
Preparation of ZrO2/SiO2 Antireflective Hard Coating from Sol-Gel Processing |
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| Li Hai-yuan,Tang Yong-xing,Hu Lili.Preparation of ZrO2/SiO2 Antireflective Hard Coating from Sol-Gel Processing[J].Acta Optica Sinica,2009,29(2). |
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| Authors: | Li Hai-yuan Tang Yong-xing Hu Lili |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZrO2/SiO2 |
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