| Al和MgF2多层滤光膜光谱及其环境稳定性 |
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| 引用本文： | 郑秀萍,吴永刚,付联效,王振华,曹鸿,张莉,焦宏飞,彭东功.Al和MgF2多层滤光膜光谱及其环境稳定性[J].强激光与粒子束,2008,20(2):219-223. |
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| 作者姓名： | 郑秀萍 吴永刚 付联效 王振华 曹鸿 张莉 焦宏飞 彭东功 |
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| 作者单位： | 同济大学 精密光学工程技术研究所, 上海 200092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合资助项目 |
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| 摘 要： | 采用真空热蒸发和电子束蒸发方法，制备了Al和MgF2 多层滤光膜，并在100，150，200, 300 ℃的真空环境中进行了热处理，考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响。结果表明，经过真空热处理后，滤光膜表面粗糙度降低，峰值透射率升高，半宽度增大。随着在实验室干燥环境中放置时间的增加，未热处理以及300 ℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动，峰值透射率降低，可见光抑制特性减弱。而150, 200 ℃热处理样品的透射率峰位移动很小，峰值透射率及可见光抑制特性基本保持不变，具有很好的环境稳定性。
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| 关 键 词： | 多层膜 热处理 环境稳定性 峰值透射率 |
| 文章编号： | 1001-4322(2008)02-0219-05 |
| 收稿时间： | 2007/8/21 |
| 修稿时间： | 2007年8月21日 |
Al and MgF2 multi-layer filters and their environmental stability |
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| ZHENG Xiu-ping,WU Yong-gang,FU Lian-xiao,WANG Zhen-hua,CAO Hong,ZHANG Li,JIAO Hong-fei,PENG Dong-gong.Al and MgF2 multi-layer filters and their environmental stability[J].High Power Laser and Particle Beams,2008,20(2):219-223. |
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| Authors: | ZHENG Xiu-ping WU Yong-gang FU Lian-xiao WANG Zhen-hua CAO Hong ZHANG Li JIAO Hong-fei PENG Dong-gong |
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| Institution: | Institute of Precision Optical Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China |
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| Abstract: | 作者简介：联系作者:吴永刚, ygwu@mail.tongji.edu.cn. |
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| Keywords: | Annealing Environmental stability Maximal transmittance |
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