| 具有硬弹簧非线性的MEMS振动式陀螺仪驱动模态控制方法 |
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| 引用本文： | 丁徐锴,李宏生,倪云舫,邵安成.具有硬弹簧非线性的MEMS振动式陀螺仪驱动模态控制方法[J].中国惯性技术学报,2015(3). |
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| 作者姓名： | 丁徐锴 李宏生 倪云舫 邵安成 |
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| 作者单位： | 东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 江苏省科技支撑计划资助项目 |
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| 摘 要： | 当振动式M EM S陀螺仪的驱动模态的振幅较大时，驱动模态中的硬弹簧非线性将变得显著。在驱动模态具有此非线性的情况下，比较了MEMS陀螺仪中常用的两种控制方法，即锁相环驱动和自激驱动。由于非线性模态在频域内的相位响应有迟滞效应，锁相环驱动方式不能稳定地锁定非线性模态的谐振频率。然而得益于自激驱动方式的工作原理，自激方式可以将非线性模态驱动在谐振点上。提出了一种改进的数字锁相环驱动方式。该改进的驱动方式以较大的驱动力为代价，提高了控制回路的稳定性。实验结果与仿真结果相一致，并且验证了所提出的驱动方式的可行性。
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| 关 键 词： | MEMS陀螺仪 硬弹簧非线性 锁相环 自激回路 |
Control methods for drive mode of MEMS vibratory gyroscope with spring hardening nonlinearity |
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| DING Xu-kai,LI Hong-sheng,NI Yun-fang,SHAO An-cheng.Control methods for drive mode of MEMS vibratory gyroscope with spring hardening nonlinearity[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2015(3). |
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| Authors: | DING Xu-kai LI Hong-sheng NI Yun-fang SHAO An-cheng |
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| Keywords: | MEMS gyroscope spring hardening nonlinearity phase-locked loop self-oscillation loop |
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