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| 一种体声波滤波器仿真设计分析 | |
| 引用本文： | 唐孝明,李方伟,唐高弟.一种体声波滤波器仿真设计分析[J].太赫兹科学与电子信息学报,2006,4(2):157-160. |
| 作者姓名： | 唐孝明 李方伟 唐高弟 |
| 作者单位： | 1. 重庆邮电学院,移动通信重点实验室,重庆,400065;中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900 2. 重庆邮电学院,移动通信重点实验室,重庆,400065 3. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900 |
| 摘 要： | 文中着重阐述了基于微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）技术制造的薄膜体声波谐振器／滤波器，简述了它的结构及原理，分析了其主要特征参数和设计方法，并设计了中心频率为2．4GHz，带宽为100MHz的带通滤波器，展示了薄膜体声波谐振器／滤波器的突出性能，为通信MEMS技术的微型化发展提供了更广阔的道路。 |
| 关 键 词： | 电子技术 体声波滤波器 仿真 带通滤波器 谐振器 微机械电子系统 |
| 文章编号： | 1672-2892(2006)02-0157-04 |
| 收稿时间： | 2005-10-25 |
| 修稿时间： | 2005-11-10 |
Design and Simulation of a Bulk Acoustic Wave Filters |
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| TANG Xiao-ming,LI Fang-wei,TANG Gao-di.Design and Simulation of a Bulk Acoustic Wave Filters[J].Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology,2006,4(2):157-160. | |
| Authors: | TANG Xiao-ming LI Fang-wei TANG Gao-di |
| Institution: | 1.Key Laboratory of Mobile Communication, Chongqing University of Posts and Telecommunications, Chongqing 400065, China; 2.Institute of Electronic Engineering, CAEP, Mianyang 621900, China |
| Abstract: | The principle and architecture of Film Bulk Acoustic Resonator/Filter are introduced in detail in this paper. Its main characteristics and design method are analyzed. Taking FBAR for example, a filter centering on 2.4GHz with 100MHz bandpass is designed to demonstrate excellent performance of FBAR filters,thus opening up a wider way for MEMS technology into telecommunication. |
| Keywords: | electronic technology bulk acoustic wave filter simulation BP filter resonator MEMS |
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