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| 升温Ta+N双注入对硬质合金性能的影响 | |
| 引用本文： | 赵青,任文静,耿漫.升温Ta+N双注入对硬质合金性能的影响[J].核聚变与等离子体物理,2002,22(1):61-64. |
| 作者姓名： | 赵青 任文静 耿漫 |
| 作者单位： | 1. 核工业西南物理研究院,成都,610041;电子科技大学高能所,成都,610054 2. 成都理工大学,成都,610059 3. 核工业西南物理研究院,成都,610041 |
| 基金项目： | 国防科技重点实验室基金资助项目 (98JS5 0 3 3HZ5 80 1) |
| 摘 要： | 利用升温离子注入技术 ,在PSII装置中实现了N +Ta双注入对硬质合金的有效表面改性 ,注入剂量为8× 10 1 7ions·cm- 2 ,注入表面温度分别为 10 0℃和 40 0℃。用显微硬度计测定硬度 ,表明试样表面显微硬度均有提高 ,其中 40 0℃试样表面显微硬度提高最大 ,高达 2 0 0 %。用俄歇电子能谱分析元素的浓度剖面 ,发现把温度从 10 0℃提高到 40 0℃ ,其注入层深度显著增加。X射线衍射测出了注入层表面形成的WN、TaN析出相。升温双元离子注入取得升温单元离子注入改性同样的效果 ,并获得比单元注入更好的复合优化强化层 |
| 关 键 词： | 硬质合金 N＋Ta双元注入 温度 升温离子注入 氮 钽 表面改性 |
| 文章编号： | 0254-6086(2002)01-0061-04 |
| 修稿时间： | 2001年3月3日 |
INFLUENCE OF Ta + N ION IMPLANTATION WITH ELEVATED TEMPERATURE ON THE PROPERTY OF HARD METAL |
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| ZHAO Qing ,REN Wen-jing ,GENG Man.INFLUENCE OF Ta + N ION IMPLANTATION WITH ELEVATED TEMPERATURE ON THE PROPERTY OF HARD METAL[J].Nuclear Fusion and Plasma Physics,2002,22(1):61-64. | |
| Authors: | ZHAO Qing REN Wen-jing GENG Man |
| Institution: | ZHAO Qing 1,2,REN Wen-jing 3,GENG Man 1 |
| Abstract: | |
| Keywords: | Hardmetal Ta+N dual ion implantation Temperature |
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