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| 点衍射球面检测中的斜反射波前像差校正 | |
| 引用本文： | 卓永模,杨甬英,王道档,陈琛.点衍射球面检测中的斜反射波前像差校正[J].光学学报,2011(6):100-105. |
| 作者姓名： | 卓永模 杨甬英 王道档 陈琛 |
| 摘 要： | 针对高精度点衍射球面检测系统中金属反射介质的偏振效应,分析了不同偏振态光束在不同孔径角范围情况下所引入的斜反射波前像差.通过数值仿真,对金属反射介质所引入的斜反射相移曲线特征进行了分析,并以此为基础,提出了相应的斜反射波前像差校正方法.利用高精度球面检测中点衍射干涉仪对所提出的校正方法进行了实验验证,并给出了相关实验结... |
| 关 键 词： | 测量 点衍射干涉仪 像差校正 偏振效应 金属反射介质 |