在H2—CH4—CO2气相系统中沉积金刚石薄膜 |
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引用本文: | 王建军,吕反修.在H2—CH4—CO2气相系统中沉积金刚石薄膜[J].人工晶体学报,1997,26(2):128-132. |
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作者姓名: | 王建军 吕反修 |
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摘 要: | 研究了在H2-CH4-CO2气相系统中金刚石薄膜的沉积情况。随着CO2浓度的增大,金刚石薄膜二次成核现象减少,晶体形态趋于完整,薄膜质量变化;随着CO2、CH42的同时增大,金刚石薄膜农渐从完整晶体形态变为菜花状聚晶体,薄膜质量变差;在较高的CH4(约15%)、CO2(约20%)浓度下,仍可获得昌体形态貌良好的金刚石薄膜;在H2_CO2气相系统中,不能沉积金刚石薄膜。
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关 键 词: | 金刚石薄膜 化学气相沉积 二氧化碳 甲烷 |
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