Fe刻蚀金刚石的工艺因素

对Ｆｅ刻蚀金刚石过程中石墨要出的速率进行了定量的研究。Ｆｅ刻蚀金刚石的过程是：金刚石晶格中的碳原子溶入γ－Ｆｅ，在γ－Ｆｅ中扩散并在远离金刚石的一侧以石墨态要出。由该机制导出了石墨析出速率的理论公式。石墨析出速率（ＪＧ）与温度、保温时间、Ｆｅ膜厚度及碳在γ－Ｆｅ中的扩散系数有关。合理设置上述参数及通过添加元素改变扩散系数的方法，可以控制Ｆｅ与金刚石反对石墨的析出量。