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炉内气氛放电原因初探
引用本文:纪慎功,沈永宏.炉内气氛放电原因初探[J].人工晶体学报,1997,26(3):414-414.
作者姓名:纪慎功  沈永宏
摘    要:

关 键 词:晶体生长炉  介电常数  炉内气氛  晶体生长  放电
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