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| 银辅助刻蚀单晶硅 | |
| 引用本文： | 李 川 王明召. 银辅助刻蚀单晶硅[J]. 化学教育, 2014, 35(8): 6-8 |
| 作者姓名： | 李 川 王明召 |
| 作者单位： | 北京师范大学化学学院 北京 100875 |
| 基金项目： | 国家级精品资源共享课程建设项目(102-135003);北京市精品课程建设项目(102-105815);北京师范大学教学建设与改革项目(12-07-05) |
| 摘 要： | 结合高中化学原电池、氧化还原反应以及银镜反应等知识，介绍两种沉积银粒子辅助刻蚀单晶硅技术的基本原理，供一线高中化学教师用于扩展高中生的化学知识，帮助学生了解化学前沿。 |
| 关 键 词： | 高中化学 单晶硅 银辅助刻蚀 物理沉积 化学沉积 |
Silver-assisted Etching of Single-crystal Silicon |
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| LI Chuan,WANG Ming-Zhao. Silver-assisted Etching of Single-crystal Silicon[J]. Journal of Chemical Education, 2014, 35(8): 6-8 | |
| Authors: | LI Chuan WANG Ming-Zhao |
| Affiliation: | College of Chemistry, Beijing Normal University, Beijing 100875, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | high school chemistry single crystal silicon silver-assisted etching physical deposition chemical deposition |
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