| 用光敏玻璃制作微透镜列阵 |
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| 引用本文： | 罗风光,曹明翠,李洪谱,艾军,徐军.用光敏玻璃制作微透镜列阵[J].光学技术,1994(3). |
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| 作者姓名： | 罗风光 曹明翠 李洪谱 艾军 徐军 |
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| 作者单位： | 华中理工大学，激光技术国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金、863高技术计划和国防科工委基金 |
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| 摘 要： | 对特种光敏玻璃及其微透镜列阵的成型机理及制作工艺进行了研究。采用六角密排结构，在远紫外线下曝光，问时进行热循环处理，成功制作出直径为４００μｍ、表面凸起高度达９．０μｍ的微透镜列阵。
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| 关 键 词： | 光敏玻璃，微透镜列阵，热处理 |
Fabrication of microlens arrays using photosensitive glass |
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| Luo Fengguang Cao Mingcui Li Hongpu Ai Jun Xu Jun.Fabrication of microlens arrays using photosensitive glass[J].Optical Technique,1994(3). |
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| Authors: | Luo Fengguang Cao Mingcui Li Hongpu Ai Jun Xu Jun |
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| Institution: | Luo Fengguang Cao Mingcui Li Hongpu Ai Jun Xu Jun |
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| Abstract: | In this paper,the research of he microlens arrays formation in photosensitive glass is made.The photosensitive glass is exposed using a deep UV light exposure unit and heated through a thermal cycle with a hxagonal closed packed arrangement,a microlens arrays with dismeter of 400μm,sag of 9μm is fabricated in our experiment. |
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| Keywords: | photosensitive glass microlens arrays thermal development |
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