合成三氯甲硅烷中多氯硅烷与甲基氯硅烷的形态分析 |
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引用本文: | 程远梅,翁博丰,刘亚南,邓丽,李咏梅.合成三氯甲硅烷中多氯硅烷与甲基氯硅烷的形态分析[J].化学通报,2014(3). |
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作者姓名: | 程远梅 翁博丰 刘亚南 邓丽 李咏梅 |
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作者单位: | 陕西天宏硅材料有限责任公司; |
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摘 要: | 合成三氯甲硅烷中常含有多氯硅烷类和甲基氯硅烷类物质。目前对它们的研究仅限于理论方面,而实验研究较少。本文采用气相色谱质谱联用技术对合成的三氯甲硅烷中含有的多氯硅烷进行了解析,确认主要成分是六氯乙硅烷,其次是六氯乙硅氧烷和五氯乙硅烷;通过间接测试的方法实现了甲基氯硅烷与三氯甲硅烷、四氯化硅在HP-5ms色谱柱上的完全分离,并确认甲基氯硅烷类主要是甲基二氯硅烷、二甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷。
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关 键 词: | 三氯甲硅烷 多氯硅烷 甲基氯硅烷 气相色谱质谱联用(GC/MS) |
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