| 静电悬浮转子微陀螺再平衡回路设计 |
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| 引用本文： | 肖奇军,陈文元,崔峰,李胜勇,张卫平.静电悬浮转子微陀螺再平衡回路设计[J].中国惯性技术学报,2007,15(5):576-579. |
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| 作者姓名： | 肖奇军 陈文元 崔峰 李胜勇 张卫平 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学,微纳科学技术研究院,上海,200030;广东肇庆学院电子信息工程系,广东,肇庆,526061
2. 上海交通大学,微纳科学技术研究院,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国防科技预研基金;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度,采用力平衡原理测量壳体输入的角速度,即对转子实行闭环控制使转子保持在零位,输出控制电压反映壳体输入角速度的大小。在分析转子所受力矩的基础上,建立了转子的力矩平衡方程。当陀螺工作在理想状态下,提出了两种再平衡回路设计,即只采用校正环节和采用解耦网络的自平衡回路设计。通过系统仿真表明了采用解耦网络设计的再平衡回路的优越性。当壳体输入阶跃角速度时,解耦控制具有响应速度快、超调小、动态性能好等优点。最后给出了采用积分电路和加法运算电路实现解耦控制的电路实现方案。
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| 关 键 词： | 静电悬浮 微陀螺 再平衡回路 解耦控制 |
| 文章编号： | 1005-6734(2007)05-0576-04 |
| 修稿时间： | 2007年7月11日 |
Rebalance loop design of micromachined ESG |
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| XIAO Qi-jun,CHEN Wen-yuan,CUI feng,LI Sheng-yong,ZHANG Wei-ping.Rebalance loop design of micromachined ESG[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2007,15(5):576-579. |
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| Authors: | XIAO Qi-jun CHEN Wen-yuan CUI feng LI Sheng-yong ZHANG Wei-ping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electrostatically suspended gyro micro-gyroscope rebalance loop decoupling control |
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