| 用灰阶编码掩模制作折/衍混合微光学元件 |
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| 引用本文： | 肖啸.用灰阶编码掩模制作折/衍混合微光学元件[J].光学与光电技术,2005,3(2):48-50. |
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| 作者姓名： | 肖啸 |
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| 作者单位： | 乐山师范学院物理与电子信息科学系,乐山,614004 |
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| 摘 要： | 设计了消色差的折，衍混合微光学元件的灰阶掩模，该掩模对光刻过程中的畸变进行了预校正，并给出了模拟计算的的结果。
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| 关 键 词： | 混合光学 灰阶编码 消色差 |
| 文章编号： | 1672-3392(2005)02-0048-03 |
| 收稿时间： | 2004/11/14 |
| 修稿时间： | 2004年11月14 |
Fabrication of Hybrid Micro-Optics Elements with Gray-Tone Coding Mask Method |
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| Xiao Xiao.Fabrication of Hybrid Micro-Optics Elements with Gray-Tone Coding Mask Method[J].optics&optoelectronic technology,2005,3(2):48-50. |
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| Authors: | Xiao Xiao |
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| Abstract: | A gray-tone mask according to an achromatic hybrid micro-optics element is designed, and it pre-corrects the aberration in the process of lithography. The simulation results are presented. |
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| Keywords: | hybrid optics gray-tone coding achromaticity |
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