| 高压互连线的Galerkin边界元法 |
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| 引用本文： | 蒋华平,方健,乔明.高压互连线的Galerkin边界元法[J].微电子学,2008,38(5). |
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| 作者姓名： | 蒋华平 方健 乔明 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054 |
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| 摘 要： | 针对有限元法难以处理求解区域具有奇异边界的边值问题和计算量相对较大的不足,采用常单元离散形式的Galerkin边界元法处理简化的二维高压互连线问题.在计算系数矩阵元的奇异二重积分时,采用解析的方法,将该算法的误差限制在边界及边界函数的离散上,提高了精度.用Matlab编写了程序,计算结果表明,所提出的方法是有效可行的.
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| 关 键 词： | 高压互连线 Galerkin边界元法 解析积分 |
Galerkin BEM for High Voltage Interconnections |
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| JIANG Huaping,FANG Jian,QIAO Ming.Galerkin BEM for High Voltage Interconnections[J].Microelectronics,2008,38(5). |
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| Authors: | JIANG Huaping FANG Jian QIAO Ming |
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