| 微机械加速度计及电容检测电路的设计 |
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| 引用本文： | 赵长德,陈旻,徐力.微机械加速度计及电容检测电路的设计[J].中国惯性技术学报,1999(1). |
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| 作者姓名： | 赵长德 陈旻 徐力 |
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| 作者单位： | 清华大学,北京,100084 |
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| 摘 要： | 本文讨论一种扭摆式微机械加速度计.介绍其敏感元件的结构,振动模态和数学模型,说明了集成电容检测电路的原理,并对该电路进行了具体设计,利用PSPICE软件进行仿真分析,结果证明完全达到要求,并给出了同步解调器电路的形式,为进行版图设计打下了基础.
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| 关 键 词： | 微机械 加速度计 电容传感器 集成电容检测电路 |
Design of Micromechanical Accelerometer and Capacitive Sensing Circuits |
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| ZHAO Changde,CHEN Min,XU Li.Design of Micromechanical Accelerometer and Capacitive Sensing Circuits[J].Journal of Chinese Inertial Technology,1999(1). |
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| Authors: | ZHAO Changde CHEN Min XU Li |
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