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| 量子光电子集成电路（OEIC）用材料工艺技术 | |
| 引用本文： | 片山良史,江涛.量子光电子集成电路（OEIC）用材料工艺技术[J].红外,1992(3):22-26. |
| 作者姓名： | 片山良史 江涛 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 光电子 集成电路 半导体 单晶 工艺 |
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