用长程表面模测量超薄金属膜的厚度 |
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引用本文: | 杨傅子,曹庄琪,方俊鑫.用长程表面模测量超薄金属膜的厚度[J].量子电子学报,1986(2). |
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作者姓名: | 杨傅子 曹庄琪 方俊鑫 |
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作者单位: | 上海交通大学应用物理系
(杨傅子,曹庄琪),上海交通大学应用物理系(方俊鑫) |
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摘 要: | 用角度扫描衰减全反射方法激励了厚度小于200A的超薄金属膜中的长程表面等离子激元模。通过改变匹配液的折射率确定了超薄金属膜的厚度。讨论了将此方法扩展到同时测量超薄金属膜的厚度和光学常数的可行性。
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