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| 硅衬底上外延CVD金刚石膜界面原子排列直接观察 | |
| 引用本文： | 尤力平,高巧君.硅衬底上外延CVD金刚石膜界面原子排列直接观察[J].电子显微学报,1996,15(6):489-489. |
| 作者姓名： | 尤力平 高巧君 |
| 作者单位： | 北京大学电镜室(尤力平)，北京大学物理系(高巧君) |
| 摘 要： | 硅衬底上外延ＣＶＤ金刚石膜界面原子排列直接观察尤力平＊高巧君（＊北京大学电镜室，北京大学物理系，北京１００８７１）ＣＶＤ金刚石膜作为新型功能材料以其独特的优异性能引起材料工作者极大的兴趣。近年来，异质外延ＣＶＤ金刚石单晶是国内外研究的热点之一，这是因... |
| 关 键 词： | 金刚石膜 硅 衬底 界石 异质外延 |
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