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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
Al_xGa_(1-x)P固溶体XPS和AES研究
作者姓名:
钟战天
邢益荣
涂相征
作者单位:
中国科学院半导体研究所(钟战天,邢益荣),中国科学院半导体研究所(涂相征)
摘 要:
采用XPS和AES对AI_xGa_(1-x)P(0≤x≤0.64)进行了研究。实验结果表明,组分比x增加时磷的2p结合能减小,价带顶退缩。同时鉴别和澄清了GaP微弱俄歇峰。
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