Al_xGa_(1-x)P固溶体XPS和AES研究 |
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引用本文: | 钟战天,邢益荣,涂相征.Al_xGa_(1-x)P固溶体XPS和AES研究[J].物理学报,1985(10). |
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作者姓名: | 钟战天 邢益荣 涂相征 |
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作者单位: | 中国科学院半导体研究所
(钟战天,邢益荣),中国科学院半导体研究所(涂相征) |
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摘 要: | 采用XPS和AES对AI_xGa_(1-x)P(0≤x≤0.64)进行了研究。实验结果表明,组分比x增加时磷的2p结合能减小,价带顶退缩。同时鉴别和澄清了GaP微弱俄歇峰。
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