|
|||||
|
|
| 一种探针-样品距离的切变力控制新方法 | |
| 引用本文： | 白永林,张工力,任克惠,White J D,侯洵.一种探针-样品距离的切变力控制新方法[J].光子学报,1999,28(2). |
| 作者姓名： | 白永林 张工力 任克惠 White J D 侯洵 |
| 作者单位： | 1. 西北大学光子学与光子技术研究所,西安,710069 2. 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710068 3. 国家瞬态光学技术重点实验室,西安,710068 4. 西北大学光子学与光子技术研究所,西安,710069;中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710068;国家瞬态光学技术重点实验室,西安,710068 |
| 摘 要： | 报道了近场扫描光学显微镜(Near-filed Scanning Optics Microscope-NSOM)中一种基于切变力的探针-样品间距控制新方法.条形压电蜂鸣器片的上表面电极被沿着中心线分成两半,一半用于驱动,其上施加振荡源谐振频率进行激励,另一半上粘附光纤探针,并利用压电效应作为光纤探针的振幅传感器.当受振动激励的光纤探针由远处逐渐接近样品表面时,由于样品与探针之间的切变力阻尼作用使得探针的振幅减小,通过检测探针振幅的变化可以控制探针与样品的间距.我们建立了一套探针-样品间距探测控制系统并利用该系统获得了CD盘片表面8μm×8μm范围内的切变力形貌图. |
| 关 键 词： | 近场扫描光学显微镜 切变力 压电陶瓷 探针-样品间距 |
A NONOPTICAL SHEAR-FORCE METHOD FOR TIP-SAMPLE DISTANCE REGULATION |
|
| Bai Yonglin,Zhang Gongli,Ren Kehui,White J D,Hou Xun.A NONOPTICAL SHEAR-FORCE METHOD FOR TIP-SAMPLE DISTANCE REGULATION[J].Acta Photonica Sinica,1999,28(2). | |
| Authors: | Bai Yonglin Zhang Gongli Ren Kehui White J D Hou Xun |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |