| 硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究 |
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| 引用本文： | 孙玉虹,曹嘉峰,王成,陈晓勇,孔龄婕,丑修建,孙立宁.硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究[J].红外技术,2015(4):347-350. |
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| 作者姓名： | 孙玉虹 曹嘉峰 王成 陈晓勇 孔龄婕 丑修建 孙立宁 |
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| 作者单位： | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;苏州大学机电工程学院&江苏省先进机器人技术重点实验室&苏州纳米科技协同创新中心 |
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| 摘 要： | 硅基MEMS红外光源作为红外应用系统的核心部件,其光学辐射特性直接影响着整个红外装置的性能,然而,国内外对于硅基MEMS红外光源的辐射特性尤其是辐射光谱特性未见详细报道,因此,为确定硅基MEMS红外光源的辐射光谱分布,对MEMS红外光源光谱特性进行准确测试是非常必要的。实验采用OL(Optronic Laboratories)系列光谱测量系统对MEMS红外光源进行光谱特性测试,相对辐射光谱测试结果显示该光源的红外光谱波段主要分布在3~5μm,中心波长在3.6μm处,其大气透过率接近90%,具有很好的大气透射度。
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| 关 键 词： | MEMS红外光源 光谱测试 光栅衍射 光谱辐射 |
The Testing Research of Spectral Characteristics of Silicon MEMS Infrared Source |
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