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| 双压电片变形反射镜样镜的设计与研制 | |
| 引用本文： | 周虹,宁禹,官春林,姜文汉. 双压电片变形反射镜样镜的设计与研制[J]. 光学学报, 2009, 29(6). DOI: 10.3788/AOS20092906.1437 |
| 作者姓名： | 周虹 宁禹 官春林 姜文汉 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院光电技术研究所,四川成都610209;中幽科学院研究生院,北京,100039 2. 中国科学院光电技术研究所,四川成都610209;国防科学技术大学光电科学与工程学院,湖南,长沙,410073 3. 中国科学院光电技术研究所,四川成都,610209 |
| 摘 要： | 双压电片变形反射镜作为波前校正器具有结构简单、变形量大、成本低及制造周期短的优点,能代替传统分立式变形镜从而降低自适应光学系统的成本.为验证工艺的可行性和了解双压电片变形反射镜的性能,制造了一块20单元的试验样镜.样镜采用了双层压电陶瓷的结构,其中一层作整体离焦电极以校正大幅值的离焦像差.利用Veeco干涉仪测最了样镜单元电极影响函数,分析了其埘前36项Zernike像差的校正能力.结果表明,样镜对离焦像差能获得高达8μm以上的校正量,对其它高阶像差也能适量校正,但校正能力随空间频率升高而降低,显示出其适合校正低阶像差的特性.此外,讨论了不同有效孔径下样镜对Zernike像差的拟合能力. |
| 关 键 词： | 白适应光学 耦联变形反射镜 泽尼克像差 影响函数 |
Design and Fabrication of Prototype for Bimorph Deformable Mirrors |
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| Zhou Hong,Ning Yu,Guan Chunlin,Jiang Wenhan. Design and Fabrication of Prototype for Bimorph Deformable Mirrors[J]. Acta Optica Sinica, 2009, 29(6). DOI: 10.3788/AOS20092906.1437 | |
| Authors: | Zhou Hong Ning Yu Guan Chunlin Jiang Wenhan |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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