在椭偏测厚中用TI——59计算器直接计算薄膜厚度

当前一些非常薄的膜层被广泛地应用于各技术领域中。因此,精确地测量薄膜厚度是一种重要的物理测量技术。其中,椭圆偏振法这种测量方法,是通过光波反射时偏振状态变化进行的;它能测很薄的膜厚(可达20A以下),测量精度很高(理论上误差可小于±10A),在各种已有的测膜厚方法中,它是能测膜厚最薄和测量精度最高的一种。但由于长期存在着数学处理上的困难与局限性,只有依靠电子计算机的发展和应用才使椭圆偏振法获得了生命力。