| 量子阱红外探测器光谱特性研究 |
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| 引用本文： | 胡小英,胡守波,刘卫国.量子阱红外探测器光谱特性研究[J].光电子．激光,2020,31(3):237-242. |
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| 作者姓名： | 胡小英 胡守波 刘卫国 |
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| 作者单位： | 西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安 710032,西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安 710032,西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安 710032 |
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| 基金项目： | 国防基础研究项目(A0920110019)、陕西省重点实验室开放基金(ZSKJ201301)和总装先 进制造(51318020303)资助项目 (西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安 710032) |
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| 摘 要： | 采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长 制备30~50 μm×300 μm台面, 外电极压焊点面积80 μm×80 μm,内电极压 焊点面积20 μm×20 μm的GaAs/AlGaAs量子阱样 品数件,峰值响应波长为8.5 μm,从理论和实验两方面分析探讨了测试样品光谱特性。用傅 里叶光谱仪 分别对其进行50 K液氦温度下光谱响应测试,实验结果显示1#,2#样品峰值响应波长分别为8.38 μm,8.42 μm,与理论峰值响应波长8.5 μm分别相差0.12 μm,0.08 μm,误差约为1.4%。两样品峰值响应波长实验值与理论值误差均小于2.0%,实验结果表明金 属有机物化学气相沉积法技术可满足量子阱红外材料生长工艺要求,探测器电极压焊点面积 大小与位置对器件光谱特性影响甚微,该误差主要由测试系统引起的,利用高分辨透射扫描 电镜(HRTEM)对样品的微观结构进行剖析研究,说明虽然样品存在不同程度位错现象,但 由GaAs与AlGaAs晶格间不匹配带来的应力应变对器件宏观光谱响应特性影响不明显。
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| 关 键 词： | 量子阱红外探测器 峰值响应波长 高分辨透射扫描电镜 |
| 收稿时间： | 2019/4/24 0:00:00 |
Research on spectral characteristics of quantum well infraredphotodetectors |
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| HU Xiao-ying,HU Shou-bo and LIU Wei-guo.Research on spectral characteristics of quantum well infraredphotodetectors[J].Journal of Optoelectronics·laser,2020,31(3):237-242. |
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| Authors: | HU Xiao-ying HU Shou-bo and LIU Wei-guo |
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| Keywords: | |
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