静电MEMS开关的数学分析(英文) |
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作者姓名: | 张瑞凤 赵乐 |
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作者单位: | 河南大学现代数学所;河南大学数学与信息科学学院; |
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基金项目: | Supported by the Natural Science Foundation of China(11271052);the Natural Science Foundation of Henan Province |
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摘 要: | 本文研究在电压阶梯函数的驱动下,微电子机械系统含有阻尼项与不含阻尼项时的动态响应.对于受非线性弹性力作用的无阻尼静电开关系统,证明当电压低于临界值时,系统存在停滞时间、停滞位移;当电压高于临界值时,开关系统将在有限时间发生短路.对于含阻尼项的系统,稳定的开关电压是有限值,此时系统的位移将接近初始驱动差距的1/3.进一步估计静电开关短路发生的时间.
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关 键 词: | 动态分析 静电开关 非线性弹性力 能量方法 渐近稳定性 |
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