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静电MEMS开关的数学分析(英文)
作者姓名:张瑞凤  赵乐
作者单位:河南大学现代数学所;河南大学数学与信息科学学院;
基金项目:Supported by the Natural Science Foundation of China(11271052);the Natural Science Foundation of Henan Province
摘    要:本文研究在电压阶梯函数的驱动下,微电子机械系统含有阻尼项与不含阻尼项时的动态响应.对于受非线性弹性力作用的无阻尼静电开关系统,证明当电压低于临界值时,系统存在停滞时间、停滞位移;当电压高于临界值时,开关系统将在有限时间发生短路.对于含阻尼项的系统,稳定的开关电压是有限值,此时系统的位移将接近初始驱动差距的1/3.进一步估计静电开关短路发生的时间.

关 键 词:动态分析  静电开关  非线性弹性力  能量方法  渐近稳定性
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