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用于砷化镓化功MESFET器件的优质多层汽相外延材料的制备
引用本文:吕云安,刘玉兰.用于砷化镓化功MESFET器件的优质多层汽相外延材料的制备[J].半导体情报,1990(2):92-94,88.
作者姓名:吕云安  刘玉兰
摘    要:

关 键 词:砷化镓  MESFET  材料  制备  汽相外延
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