功率器件IGBT槽栅设计尺寸对直流参数影响的研究 |
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作者姓名: | 闻永祥 范伟宏 顾悦吉 刘琛 刘慧勇 |
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作者单位: | 杭州士兰集成电路有限公司技术中心,浙江杭州,310018 |
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摘 要: | IGBT由于其优异特性而广泛应用于电机、电焊机和功率开关等领域,是功率器件的主流产品之一。本文首先简要介绍IGBT及历代器件工艺的发展,提出了一种槽栅IGBT的工艺流程,并研究了其槽栅设计尺寸对器件主要直流参数的影响。
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关 键 词: | 绝缘栅晶体管 工艺 槽栅尺寸 直流参数 |
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