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| 基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关 | |
| 引用本文： | 郑惟彬,黄庆安,李拂晓,廖小平.基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关[J].微纳电子技术,2003,40(7):395-397. |
| 作者姓名： | 郑惟彬 黄庆安 李拂晓 廖小平 |
| 作者单位： | 1. MEMS教育部重点实验室,东南大学,江苏,南京,210096 2. 南京电子器件研究所,江苏,南京,210016 |
| 摘 要： | 射频微机械开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景。但是目前的微机械开关都是制作在硅基衬底上的，难于与后面的高频砷化镓处理电路相集成。本文介绍了基于砷化镓衬底的RFMEMS膜开关，着重介绍了开关的工作原理、制作过程和测试结果。 |
| 关 键 词： | 射频微机械开关 砷化镓 微机电系统 工作原理 MEMS膜开关 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0395-02 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
RF MEMS membrane switches on GaAs substrates |
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