中国科学院上海硅酸盐研究所研发成功4英寸碳化硅单晶

中国科学院上海硅酸盐研究所立足自主研发,在掌握直径50.8mm(2英寸)、76.2mm(3英寸)碳化硅单晶生长技术之后,近日成功生长出直径100mm(4英寸)4H晶型碳化硅单晶。碳化硅单晶正朝着大尺寸的方向迅速发展。