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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
溅射角分布形状与Spike效应的相关性
作者姓名:
郑里平
崔福斋
王震遐
陶振兰
陶良
钟毅
作者单位:
中国科学院上海原子核研究所,清华大学工程物理系,中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所 中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室,中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室
摘 要:
Sigmund 69年提出的线性碰撞级联理论,成功地解决了多晶体与无定形的单元素靶的溅射产额问题。根据反冲原子速度分布是各向同性的假定,他又推导出单元素靶溅射角分布是cosine形状,即溅射角分布可用A(cosβ)”函数描述,其中形状指数n=1。但是不少实验事实表明,对于中等以上质量的离子和靶原子来说,当离子能≥10~1Kev数量级级时,单元素靶溅射角分布是 over——cosine形状,即形状指数n>1。产生这种现象的机制至今仍不清楚。本文认为:在整个碰撞级联中,不全是线性碰撞,
关 键 词:
碰撞级联
溅射角分布
Spike
效应损伤能量密度
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